可以同時(shí)有探針掃描和樣品臺(tái)掃描兩種模式。探針掃描利用電壓驅(qū)動(dòng)探針在大范圍達(dá)到500x500微米的區(qū)域內(nèi)移動(dòng)并且產(chǎn)生*分辨率的圖像。樣品臺(tái)掃描則是移動(dòng)樣品臺(tái)來產(chǎn)生高分辨率的圖像。因?yàn)殡妷候?qū)動(dòng)比XY軸運(yùn)動(dòng)更為精確所以探針掃描產(chǎn)生的圖像要遠(yuǎn)遠(yuǎn)好于樣品臺(tái)掃描得到的圖像。通過一個(gè)按鍵開關(guān)，可以選擇三維輪廓儀使用探針掃描模式還是樣品臺(tái)掃描模式。

　　

　　結(jié)果組成：

　　1、三維表面結(jié)構(gòu)：粗糙度，波紋度，表面結(jié)構(gòu)，缺陷分析，晶粒分析等；

　　2、二維圖像分析：距離，半徑，斜坡，格子圖，輪廓線等；

　　3、表界面測量：透明表面形貌，薄膜厚度，透明薄膜下的表面；

　　4、薄膜和厚膜的臺(tái)階高度測量；

　　5、劃痕形貌，摩擦磨損深度、寬度和體積定量測量；

　　6、微電子表面分析和MEMS表征。

　　

　　形貌儀主要應(yīng)用領(lǐng)域：

　　1、用于太陽能電池測量；

　　2、用于半導(dǎo)體晶圓測量；

　　3、用于鍍膜玻璃的平整度（Flatness)測量；

　　4、用于機(jī)械部件的計(jì)量；

　　5、用于塑料，金屬和其他復(fù)合型材料工件的測量。