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臺階儀工業(yè)測量儀器:揭秘多領(lǐng)域應(yīng)用

更新時間:2023-11-02      點擊次數(shù):1011

臺階儀是一種常見的工業(yè)測量儀器,廣泛應(yīng)用于大學(xué)、研究實驗室和研究所、半導(dǎo)體和化合物半導(dǎo)體、高亮度LED、太陽能、MEMS微機電、觸摸屏、汽車、醫(yī)療設(shè)備等行業(yè)領(lǐng)域。它能完成對微米和納米結(jié)構(gòu)進行膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波紋和表面粗糙度等的測量。

圖片1.jpg

工作原理

當觸針沿被測表面輕輕滑過時,由于表面有微小的峰谷使觸針在滑行的同時還沿峰谷作上下運動。觸針的運動情況就反映了表面輪廓的情況。


CP200臺階儀采用線性可變差動電容傳感器(LVDC),具有亞埃級分辨率,13um量程下可達0.01埃,具有良好的測量精度及重復(fù)性。高信噪比和低線性誤差,使得產(chǎn)品能夠掃描到幾納米至幾百微米臺階的形貌特征??梢詼y量各種材料的膜層厚度,包括金屬、陶瓷、塑料等,沒有特別的要求,樣品適應(yīng)面廣,數(shù)據(jù)復(fù)現(xiàn)性高、測量穩(wěn)定、便捷、高效,是微觀表面測量中使用廣泛的微納樣品測量手段。


典型應(yīng)用

1、半導(dǎo)體應(yīng)用

(1)沉積薄膜的臺階高度

(2)抗蝕劑(軟膜材料)的臺階高度

(3)蝕刻速率測定

(4)化學(xué)機械拋光(腐蝕、凹陷、彎曲)

2、大型基板應(yīng)用

(1)印刷電路板(突起、臺階高度)

(2)窗口涂層

(3)晶片掩模

(4)晶片卡盤涂料

(5)拋光板

3、玻璃基板及顯示器應(yīng)用

(1)AMOLED

(2)液晶屏研發(fā)的臺階步級高度測量

(3)觸控面板薄膜厚度測量

(4)太陽能涂層薄膜測量

4、柔性電子器件薄膜應(yīng)用

(1)有機光電探測器

(2)印于薄膜和玻璃上的有機薄膜

(3)觸摸屏銅跡線

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