激光干涉儀是利用激光的相干性原理來測量物體長度、形狀、位移、表面形貌等參數(shù)的一種設備。它的原理基于兩束不同頻率的激光交叉干涉形成的干涉圖案來測量目標物體的形態(tài)和位移。
 

　　當兩束激光束脫離相干性時，干涉圖案將隨時間變化，因此，通常采用各種技術來保持兩束激光束相干性。比如，在單模激光中采取模式鎖定技術，使得兩束激光頻率的差值恒定。這兩束頻率相差很小時，它們的束面之間的相干長度較小，因此，當一束激光束照射到物體表面時，其反射光與另一束激光束反射光形成干涉圖案。
 

　　激光干涉儀的應用：
 

　　1. 長度、位移和形狀測量
 

　　可以測量目標物體的長度、位移和形狀等物理量。例如，在制造業(yè)中，可以測量特定零件的大小和形狀，以確保它們與設計規(guī)格相符。此外，還被應用于材料力學和結構工程中的位移測量，幫助工程師了解建筑物和其他結構的變形和穩(wěn)定性。
 

　　2. 表面形貌測量
 

　　還可以用于表面形貌測量，比如，可以實現(xiàn)微米級精度的表面粗糙度測量。這種技術被廣泛應用于半導體和光學器件生產(chǎn)領域，以確保產(chǎn)品達到所需的表面平整度和表面處理質量。
 

　　3. 光學元件測試
 

　　也被廣泛應用于光學元件的測試，比如，它可以用于光學鏡頭的定位和旋轉測量，以及光學元件的形狀精度檢測和表面質量測量。
 

　　總之，激光干涉儀作為一種高精度的測量設備，被廣泛應用于制造業(yè)、工程研究和科學實驗等領域。其原理基于激光的相干性，可以實現(xiàn)目標物體的長度、位移、形狀和表面形貌等物理量的測量。