白光干涉儀適合檢測的樣品按領(lǐng)域分為微納材料、超精密加工（機(jī)械、光學(xué)）、半導(dǎo)體封裝、消費(fèi)電子類這四個(gè)領(lǐng)域。

其中消費(fèi)電子類即智能電子產(chǎn)品的玻璃外殼、內(nèi)嵌組裝要求比較高的超光滑薄片，如home鍵、手機(jī)攝像頭里的薄片；

半導(dǎo)體行業(yè)的整個(gè)產(chǎn)業(yè)鏈上的工藝流程是：硅棒經(jīng)過一系列切削、打磨物理化學(xué)方法后獲得比較粗糙的硅片，經(jīng)過單面拋光后即成為可進(jìn)行蝕刻工藝（將IC芯片蝕刻到拋光面）的硅片，上述兩個(gè)步驟獲得的是半導(dǎo)體領(lǐng)域里原材料硅片，屬于來料部分，對拋光后的硅片拋光面粗糙度有要求，一般要求在1nm及以下。

中圖儀器白光干涉儀以白光干涉技術(shù)為原理，結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等，通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析，獲取質(zhì)量參數(shù)，可以達(dá)到納米級(jí)的檢測精度。

產(chǎn)品參數(shù)

對表面質(zhì)量等級(jí)非常高的各種光學(xué)鏡片和玻璃等超精密加工產(chǎn)物進(jìn)行測量，如果采用接觸式的輪廓儀，會(huì)劃傷器件表面，而一般的非接觸式光學(xué)影像方法，也沒有辦法克服它們的高透明度特性。但用中圖儀器白光干涉儀可以解決。

玻璃屏檢測

生活中智能手機(jī)、平板電腦、智能手表等日常的智能產(chǎn)品中常見的玻璃屏，需要對其表面粗糙度和輪廓進(jìn)行檢測。以手機(jī)玻璃屏為例：

玻璃屏表面粗糙度檢測

藍(lán)寶石玻璃檢測

藍(lán)寶石有優(yōu)良的物理和化學(xué)特性，常被用于制作成各種光學(xué)元件。其主要成分是氧化鋁（Al?O?），主要用于制成攝像頭保護(hù)鏡、棱鏡、表鏡等，加工出來的藍(lán)寶石玻璃分為雙面拋光和單面拋光兩種，表面粗糙度就是決定了拋光程度（即表面質(zhì)量等級(jí)）的直接因素。

一片單面拋光藍(lán)寶石玻璃的光面和糙面的粗糙度檢測圖像及數(shù)據(jù)

“見一葉而知深秋，窺一斑而見全豹" 這句話用來形容中圖儀器SuperView W1光學(xué)3D表面輪廓儀，在超精密加工顯微測量場景中發(fā)揮的作用恰如其分。