中圖儀器PLR3000多軸測量光纖激光尺基于激光干涉測量原理，分辨率可達(dá)10nm，線性精度高達(dá)0.2ppm，在微電子、微機(jī)械、微光學(xué)等現(xiàn)代超精密加工制造、光刻技術(shù)以及航空航天等高科技領(lǐng)域，提供精準(zhǔn)、可靠的位置反饋與控制。

一、產(chǎn)品核心功能

1. 納米級(jí)信號(hào)輸出：10nm高分辨率（支持外部拓展），正交數(shù)字/1Vpp正余弦信號(hào)雙輸出，適配各類控制器；

2. 全環(huán)境自適應(yīng)：一體化環(huán)境氣象站，實(shí)時(shí)補(bǔ)償環(huán)境參數(shù)對(duì)測量的影響，數(shù)據(jù)長期可靠；

3. 靈活安裝設(shè)計(jì)：激光主機(jī)與探頭分離，3m鎧裝光纖連接，遠(yuǎn)離熱源干擾，狹小空間也能便捷安裝；

4. 多維度測量支持：單軸/雙軸/三軸自由配置，搭配多種干涉探頭，輕松實(shí)現(xiàn)多自由度測量；

5. 雙重使用模式：既可作為激光干涉儀獨(dú)立測量，也可接入系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)閉環(huán)位置反饋控制；

二、產(chǎn)品特點(diǎn)

1. 超高精度：10nm分辨率+0.2ppm線性精度，滿足納米級(jí)測量需求，杜絕加工誤差導(dǎo)致的產(chǎn)品報(bào)廢；

2. 適配復(fù)雜工況：熱源隔離設(shè)計(jì)+環(huán)境實(shí)時(shí)補(bǔ)償，溫度/氣壓/濕度變化不影響數(shù)據(jù)穩(wěn)定性；

3.高效率低成本：多軸同步測量+快速安裝準(zhǔn)直，減少設(shè)備調(diào)試時(shí)間，提升生產(chǎn)線流轉(zhuǎn)效率；

4. 多場景適配：4m大量程可拓展，動(dòng)態(tài)速度支持2m/s，覆蓋靜態(tài)檢測到高速運(yùn)動(dòng)全場景；

三、產(chǎn)品優(yōu)勢

1. 精度碾壓傳統(tǒng)方案：相比鋼帶尺/玻璃光柵，柵距更精準(zhǔn)、分辨率更高，環(huán)境補(bǔ)償技術(shù)進(jìn)一步保障數(shù)據(jù)穩(wěn)定性；

2. 定制化適配能力：支持量程拓展、探頭選配、多通道輸出，根據(jù)客戶生產(chǎn)場景量身定制方案；

3. 降本增效屬性：體積小巧降低阿貝誤差，安裝快捷減少調(diào)試成本，動(dòng)態(tài)測量能力適配高速生產(chǎn)線；

4. 全周期可靠保障：激光校準(zhǔn)認(rèn)證加持，數(shù)據(jù)可追溯，滿足工業(yè)生產(chǎn)合規(guī)要求；

四、產(chǎn)品應(yīng)用

1. 半導(dǎo)體制造：光刻機(jī)晶圓精準(zhǔn)定位、精密工件臺(tái)閉環(huán)反饋，助力芯片制造良率提升；

2. 航空航天：發(fā)動(dòng)機(jī)葉片形變檢測、高精度裝配校準(zhǔn)，保障核心部件可靠性；

3. 精密加工：數(shù)控機(jī)床多軸聯(lián)動(dòng)位置反饋、微機(jī)械元件測量，提升加工精度與效率；

4. 科研領(lǐng)域：光學(xué)平臺(tái)穩(wěn)定性監(jiān)測、超精密實(shí)驗(yàn)設(shè)備控制，支撐前沿研究數(shù)據(jù)精準(zhǔn)度；

五、服務(wù)與支持

1.定制化方案：PLR3000多軸測量光纖激光尺根據(jù)需求提供探頭配置、量程拓展、環(huán)境補(bǔ)償單元等靈活選配。

2.專業(yè)認(rèn)證：提供激光校準(zhǔn)證書，確保數(shù)據(jù)性。

3.全球服務(wù)網(wǎng)絡(luò)：1年質(zhì)保，技術(shù)支持團(tuán)隊(duì)7×24小時(shí)響應(yīng)，快速解決現(xiàn)場問題。

注：產(chǎn)品參數(shù)將根據(jù)技術(shù)迭代持續(xù)優(yōu)化，故本產(chǎn)品資料中有關(guān)內(nèi)容可能會(huì)根據(jù)實(shí)際情況隨時(shí)更新或修改，恕不另行通知，不便之處敬請(qǐng)諒解。

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