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一鍵批量分析白光干涉測頭,是一款非接觸式精密光學測頭，其基于白光干涉和精密掃描研制而成，主要由光學干涉系統(tǒng)和Z向掃描系統(tǒng)組成，具有體積小、重量輕、便攜的特點

白光干涉儀是一款用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量的檢測儀器。原理：非接觸、三維白光掃描干涉儀

白光干涉測頭 主要特點：便攜可搭載 一鍵批量分析 生產企業(yè)：深圳市中圖儀器股份有限公司

?SuperViewW1三維白光干涉形貌儀支持納米級高度測量，0.4μm級別的線寬測量，最大支持80倍的槽深寬比測量，具備點、線、面相關的寬度、高度、角度、直徑等各類輪廓尺寸測量功能。

SuperViewW3大尺寸微觀形貌儀白光干涉測量各種產品、部件和材料表面的粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、高?？蒲性核阮I域中。

中圖儀器W1國產白光干涉儀可以對各種產品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。