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中圖儀器國產(chǎn)NS臺階儀0.01埃分辨率,5Å超高精度精準測量微觀檢測微觀輪廓。搭載線性可變差動電容傳感器(LVDC),一站式解決半導體、光伏、MEMS等精密制造與科研領(lǐng)域的多場景微觀參數(shù)檢測需求。
NS系列5Å重復性臺階高度儀0.01埃分辨率,5Å超高精度精準測量微觀檢測微觀輪廓。搭載線性可變差動電容傳感器(LVDC),在半導體、光伏、MEMS等精密制造與科研領(lǐng)域一站式解決多場景微觀參數(shù)檢測需求。
NS系列薄膜臺階儀品牌亞埃級精度、多場景適配性與智能化操作,可精準測量臺階高度(納米至1050μm)、表面粗糙度(Ra、Rz等參數(shù))、膜層厚度及應(yīng)力分布,為材料研發(fā)、工藝優(yōu)化與質(zhì)量管控提供可靠數(shù)據(jù)支持。
中圖儀器NS系列膜層厚度臺階高度測量儀亞埃級精度,(LVDC傳感器核心)憑借亞埃級分辨率、多場景適配性與智能化操作,直擊半導體、光伏、MEMS等行業(yè)測量痛點,為材料研發(fā)、工藝優(yōu)化、質(zhì)量管控提供精準數(shù)據(jù)支撐。
NS系列薄膜臺階測量儀能夠測量納米到330μm或1050μm的臺階高度,可以準確測量蝕刻、濺射、SIMS、沉積、旋涂、CMP等工藝期間沉積或去除的材料。
中圖儀器臺階儀廠家NS系列通過2μm金剛石探針與LVDC傳感器的協(xié)同工作,結(jié)合亞埃級分辨率(5 Å)與智能化分析軟件,可精準測量臺階高度(納米至1050μm)、表面粗糙度(Ra、Rz等參數(shù))、膜層厚度及應(yīng)力分布,為材料研發(fā)、工藝優(yōu)化與質(zhì)量管控提供可靠數(shù)據(jù)支持。
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