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SJ6000國產(chǎn)激光干涉儀產(chǎn)品采用進(jìn)口高穩(wěn)頻氦氖激光器、激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)、高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊、幾何參量干涉光路設(shè)計、高精度激光干涉信號處理系統(tǒng)、高性能計算機(jī)控制系統(tǒng)技術(shù)，實現(xiàn)各種參數(shù)的高精度測量

中圖儀器激光干涉儀采用美國進(jìn)口高穩(wěn)頻氦氖激光器、激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)、高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊、幾何參量干涉光路設(shè)計、高精度激光干涉信號處理系統(tǒng)、高性能計算機(jī)控制系統(tǒng)技術(shù)，實現(xiàn)各種參數(shù)的高精度測量。

SJ6000機(jī)床激光干涉儀產(chǎn)品采用美國進(jìn)口高穩(wěn)頻氦氖激光器、激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)、高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊、幾何參量干涉光路設(shè)計、高精度激光干涉信號處理系統(tǒng)、高性能計算機(jī)控制系統(tǒng)技術(shù)，實現(xiàn)各種參數(shù)的高精度測量

PLR3000多軸測量光纖激光尺基于激光干涉測量原理，分辨率可達(dá)10nm，線性精度高達(dá)0.2ppm，在微電子、微機(jī)械、微光學(xué)等現(xiàn)代超精密加工制造、光刻技術(shù)以及航空航天等高科技領(lǐng)域，提供精準(zhǔn)、可靠的位置反饋與控制。

GTS空間位置坐標(biāo)激光跟蹤儀兼顧15μm+6μm/m空間精度與30-80米測量半徑，輕松覆蓋大型、超大型工件全維度測量需求。

GTS系列機(jī)器人位姿準(zhǔn)確度激光跟蹤測量儀是同時具高精度（μm級）、大工作空間（百米級）的高性能光電測量儀器。可以和多種形式的合作目標(biāo)測頭配合使用，能夠解決大型、超大型工件和大型科學(xué)裝置、工業(yè)母機(jī)等全域高精度空間坐標(biāo)和空間姿態(tài)的測量問題。