使測量速度、精確度都大大提高。新機床出廠前都要進行定位精度和重復(fù)定位精度以及反向間隙的檢測，現(xiàn)在大多使用激光干涉儀進行；不管是三軸聯(lián)動、五軸聯(lián)動還是九軸聯(lián)動數(shù)控機床，機床在進行了長時間運行加工都會因為導(dǎo)軌滾珠絲桿的磨損等綜合因素，有一定的偏差，導(dǎo)致數(shù)控機床的加工精度逐漸偏離標準。激光干涉儀的用途就是專門用來測量、校準數(shù)控機床、三坐標、自動化設(shè)備等導(dǎo)軌的運動精度，尤其是在數(shù)控機床領(lǐng)域，激光干涉儀是強有力的檢測儀器。

中圖儀器研發(fā)生產(chǎn)的SJ6000深圳工業(yè)激光干涉儀，能對機床進行校準、補償，可以與機床系統(tǒng)對接進行自動化測量，將測量誤差導(dǎo)入到數(shù)控系統(tǒng)，實現(xiàn)精度自動補償。

產(chǎn)品參數(shù)

產(chǎn)品型號：SJ6000

產(chǎn)品名稱：SJ6000激光干涉儀

穩(wěn)頻方式：激光熱穩(wěn)頻

穩(wěn)頻精度：0.05ppm

線性測量精度：0.5ppm（0-40）℃

線性測量距離：（0-80）m（無需遠距離線性附件）

角度測量精度：±不低于±0.04% ±0.5 ±0.1M µm/m

測量分辨力：1nm

動態(tài)采集頻率：50KHz

預(yù)熱時間：≤6分鐘

工作溫度范圍：（0-40）℃

環(huán)境溫度范圍：（0-40）℃，環(huán)境濕度：0-95%

主要特點：應(yīng)用范圍廣、測量精度高、操作方便

技術(shù)參數(shù)

SJ6000深圳工業(yè)激光干涉儀具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優(yōu)點，結(jié)合不同的光學(xué)鏡組，可實現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。在SJ6000激光干涉儀動態(tài)測量軟件配合下，可實現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動態(tài)測量與性能檢測，以及進行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態(tài)分析，如振動分析、絲桿導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。也可以實現(xiàn)一次安裝即可沿任意方向的線性軸同時測量5個自由度的誤差，包括1個線性誤差、2個角度誤差和2個直線度誤差。

測量機床回轉(zhuǎn)軸精度

測量機床偏擺角度

數(shù)控機床精度校準

產(chǎn)品配置與證書

中圖儀器一直以實現(xiàn)高精密儀器自主化為己任，在以往中國市場都是國外品牌的激光干涉儀情況下，推出SJ6000激光干涉儀?？蛻魧ξ覀兊恼J可是我們不斷前行的動力！未來，中圖儀器還將專注于精密測量檢測技術(shù)的發(fā)展，自強不息、知難而上、勇于創(chuàng)新！